CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH

Profil

Die CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH entwickelt mit rund 120 Mitarbeitenden siliziumbasierte Mikrosensoren und Mikrosysteme (MEMS/MOEMS). Die Expertise umfasst anwendungsspezifisches Design, Prozessentwicklung und Analytik. Aufbauend auf einer mehr als 30-jährigen „Competence in Silicon“ reicht die Expertise von F&E-Leistungen bis zur Kleinserienfertigung kundenspezifischer Mikrokomponenten.

Technologie / Forschung

Forschungsschwerpunkte:

• Mikro-Optische Systeme (MOEMS), wie optoelektronische Sensoren von UV bis IR für Gasanalysen und medizinische Anwendungen sowie Silizium-Detektoren und Strahlungsdetektoren für Wissenschaft und Industrie.
• Mikro-Elektro-Mechanische Systeme (MEMS), inklusive piezoresistiver Drucksensoren, Kraft- und Dehnungsmesssensoren.

Kerntechnologien:

• Siliziumbasierte Verfahren für Miniaturisierung, Integration sensorischer und elektronischer Funktionen in Wafer und Chips.
• Eigene Halbleiterprozessierung
• Aufbau- und Verbindungstechnik
• Prototypenbau, Kleinserienfertigung und Messtechnik auf Wafer- und Chip/Modulebene
• Material- und Nanoanalytik sowie Zuverlässigkeitsprüfungen von Sensoren.

 Produkte / (Dienst-)Leistungen

• Machbarkeitsstudien
• Kundenspezifische Entwicklungen im Bereich der Silizium-Sensorik vom Design bis zur Serie
• Dienstleistungen im Bereich Aufbau- und Verbindungstechnik sowie Messtechnik & Analytik

Information

Die CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH entwickelt mit rund 120 Mitarbeitenden siliziumbasierte Mikrosensoren und Mikrosysteme (MEMS/MOEMS). Die Tätigkeiten umfassen die gesamte Wertschöpfungskette – vom Design über die Waferprozessierung bis Prototypenentwicklung. Aufbauend auf einer mehr als 30-jährigen „Competence in Silicon“ reicht die Expertise von F&E-Leistungen bis zur qualitätsgeprüften Kleinserienfertigung kundenspezifischer Mikrokomponenten. Das Institut unterstützt Unternehmen bei der Realisierung optischer, mikromechanischer und piezoresistiver Sensoren. Sensoren des Instituts leisten Beiträge zu aktuellen Herausforderungen in Energie, Umwelt, Medizintechnik und Industrie. Sie erfassen Zustände, wandeln sie in Messdaten um und ermöglichen so effiziente, sichere und nachhaltige Prozesse.