SUSS MicroTec SE

Growing Innovation

SUSS, gegründet 1949 in München, hat die Halbleiterindustrie seit ihren Anfängen mitgeprägt, unter anderem durch die Entwicklung des weltweit ersten Mask-Aligners im Jahr 1963. Mittlerweile bietet das Unternehmen ein umfassendes Portfolio an hochpräzisen Prozesslösungen für zentrale Schritte der Mikrofabrikation an. Gemeinsam mit Forschungsinstituten und Industriepartnern entwickelt SUSS innovative Lösungen, beispielsweise für Technologien wie 3D-Integration oder Nanoimprint.

• Fotomaskenprozessierung
• Waferreinigung:
  • Aktueller Forschungsschwerpunkt: Entwicklung von ressourceneffizienten, chemiereduzierten Reinigungsverfahren
• Temporäres und permanentes Waferbonden inklusive Hybridbonden:
  • Aktuelle Forschungsschwerpunkte: Entwicklung neuer Prozesse und Materialien zur Maximierung der Bondqualität im Permanent- und Hybridbonden
• Lithografie:
  • Aktueller Forschungsschwerpunkt: hochpräzise UV-Lithografie
• Belackung und Entwicklung:
  • Aktueller Forschungsschwerpunkt: Integration von adaptiven Prozessstrategien wie Tintenstrahldruck für flexible Substrate und heterogene Materialien