>> Hier das Abstract herunterladen
Im Februar 2024 begrüßen wir in unserem Innovation Coffee die zwei Experten Dr. Steffen Walter von Alumina Systems und Stephan Wege von der Plasway Technologies GmbH.
Plasmaprozesse sind aus der heutigen Prozesslandschaft der Halbleiterherstellung nicht wegzudenken. Die Plasway Technologies GmbH ist ein Experte für Plasmaprozesse aller Art, insbesondere für atomare Schichtprozesse wie Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition (PEALD) und Atomic Layer Etching (ALE).
Die Firma Plasway Technologies widmet sich der Entwicklung von Anlagen, die in der Lage sind, dünne, atomare Abscheidungen vorzunehmen. Das genutzte Verfahren ist das plasmaunterstützte Atomic Layer Deposition. Das einzigartige und innovative Verfahren mit Plasmaunterstützung von Plasway erlaubt es einzelne Atome bzw. Atomlagen cyclisch auf Bauteilen aufzutragen aber auch diese präzise, mittels Ätzen, wieder zu entfernen. Wie die Verfahren PEALD (Plasmaenhanced Atomic Layer Deposition) und ALE (Atomic Layer Etching) funktionieren, erklärt Ihnen Stefan Wege in seinem Vortrag.
Dieser innovative Prozess von Plasway ist nur mittels eines 2-Kanal Gasverteilerrings von Alumina Systems möglich, welcher das Herzstück des FALP (Fast Atomic Layer Processing) Werkzeugs ist.
Am konkreten Beispiel des 2-Kanal-Gasverteilungsrings, erläutert Dr. Walter von Alumina Systems den 3D-Druck Prozess aus Keramikkomponenten. Alumina Systems hat eine Technologie entwickelt, um die gedruckten Segmente des Rings durch Glaslöten zu einem vakuumdichten Bauteil mit 500 mm Durchmesser zu verbinden. Nur keramisches Material kann der rauen Umgebung der plasmaaktiven Atmosphäre über einen angemessenen Zeitraum standhalten. Neuartig ist die Strategie zum Aufbau großer Bauteile, die ebenfalls in diesem Vortrag erklärt wird.
Vakuumdichte Metall-Keramik-Verbundkomponenten sind das Alleinstellungsmerkmal der Alumina Systems GmbH. Viele dieser Produkte werden in enger Zusammenarbeit mit dem Kunden entwickelt. Durch klassische Produktion in Verbindung mit additiver Fertigung entstehen einzigartige Lösungen – ganz nach dem Motto „In jedem Produkt eine geniale Idee“.
Sind Sie neugierig geworden?
Beim Innovation Coffee haben Sie die Möglichkeit der Vernetzung und eines fachlichen Austauschs mit unseren Experten Dr. Walter und Herrn Wege und mit anderen teilnehmenden Expertinnen und Experten.
Angesprochen sind Mitarbeitende aus Unternehmen und unterschiedlichen Tätigkeitsfeldern, der Branchen:
- Digitalisierung
- Elektronik
- Halbleiter
- Quantentechnologie
- Material
- Composites
- Glas & Keramik
- Nanomaterialien
- Produktion
- KI in der Produktion
- Maschinen und Anlagenbau
Erfahren Sie in unserem Innovation Coffee mehr über die neuesten Entwicklungen zu FALP - in -situ integrierte ALE- und PEALD-Prozesse und 3D-Herstellung eines keramischen 2-Kanal-Gasverteilungsrings von unseren Experten Dr. Walter und Herrn Wege.
