MICRO-EPSILON MESSTECHNIK GmbH & Co. KG

MICRO-EPSILON MESSTECHNIK GmbH & Co. KG
Königbacher Str. 15
94496 Ortenburg

https://www.micro-epsilon.de/

Tel.: +49 8542 1680
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Info

Micro-Epsilon zählt zu den führenden Herstellern von Präzisionssensorik. Seit mehr als 50 Jahren entwickeln und produzieren wir innovative Sensoren und Sensorsysteme für zukunftsgerichtete Branchen. Mit überdurchschnittlichen Entwicklungsaufwendungen, einem hohen Maß an Know-How und einem breiten Netz an Kooperationen kreieren wir Sensoren mit höchster Präzision. Über Weiterentwicklungen von Messverfahren, Applikationserfahrung in verschiedenen Branchen und technische Innovationen schaffen wir Sensorprodukte, die einen deutlichen Mehrwert für unsere Kunden erzielen.

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Überblick

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Profil

Hochpräzise Sensoren und Messsysteme von Micro-Epsilon werden in allen wichtigen Industriebranchen eingesetzt – vom Maschinenbau über automatisierte Fertigungslinien bis zu integrierten OEM-Lösungen. In der Halbleiterindustrie haben sich Sensortechnologien von Micro-Epsilon seit vielen Jahren bestens bewährt und lösen für zahlreiche Messaufgaben mit hoher Präzision - in komplexen Front-End-Prozessen, Back-End-Applikationen und in Wafer-Fab-Automatisierungen.

Produkte

  • Vakuumtaugliche Sensoren und Sensor-Aktorsysteme
  • Hochpräzise Weg- und Abstandssensoren
  • Kundenspezifische Sensorentwicklung für Serienanwendungen

Technologie

  • Hochpräzise elektromagnetische Abstandssensoren (Wirbelstrom / kapazitiv)
  • Hochauflösende konfokal-chromatische Sensoren zur Abstands- und Dickenmessung
  • Weißlicht-Interferometer zur Abstands- und Dickenmessung mit Subnanometer-Auflösung