Fraunhofer EMFT

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Hansastraße 27d
80686 München
https://www.emft.fraunhofer.de
Prof. Dr. Christoph Kutter
Tel.: +4989 54759 500
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Profil
Fabrication/Development Silicon Devices MEMS
Produkte
- Lithografie
- Ofentechnologie
- Nass-Trockenätztechnologie
- Messtechnik auch elektrisch
Technologie
- Prozessentwicklung zur Fertigung von Halbleiterkomponenten und MEMS