Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB

Leitung: Prof. Dr. Heiner Ryssel

Profil

Das Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB entwickelt gemeinsam mit der Industrie neue Halbleiter-Fertigungsgeräte und -verfahren und stellt Simulationswerkzeuge zur Beschreibung moderner mikroelektronischer Fertigungsschritte bereit. Als Kompetenzzentrum für Leistungselektronik entwickelt das IISB darüber hinaus leistungselektronische Bauelemente und Systeme - von Einzeldioden bis hin zu kompletten Prototypen für Schaltnetzteile, Frequenzumrichter u.v.a.m.

Das IISB beschäftigt über 80 feste Mitarbeiterinnen und Mitarbeiter. Es wurde 1985 durch die gemeinsame Initiative des Freistaates Bayern und eines industriellen Förderkreises gegründet. Der Leiter des IISB, Prof. Heiner Ryssel, ist gleichzeitig Inhaber des Lehrstuhls für Elektronische Bauelemente der Universität Erlangen-Nürnberg, mit dem das IISB eng zusammenarbeitet.

Technologien / Forschung

Im Arbeitsgebiet Technologiesimulation werden leistungsfähige Simulationsprogramme zur Optimierung von Einzelprozessen und Prozeßfolgen in der Halbleiter-
technologie entwickelt. Halbleiterfirmen und andere Anwender werden durch Simulationen u.a. bei der Bauelemente-
Entwicklung unterstützt.

Im Arbeitsgebiet Halbleiterfertigungsgeräte und -methoden werden Firmen bei der Entwicklung und Verbesserung neuer Fertigungsgeräte, Materialien und der zugehörigen Prozesse unterstützt (z.B. durch Integration von in-situ-Meßtechniken und durch Minimierung der Kontamination).

Neue technologische Prozesse und Herstellungsmethoden für die Sub-100-nm-Technologie und für moderne Leistungsbauelemente werden im Arbeitsgebiet Technologie entwickelt. Höchstauflösende Meß- und Analysemethoden erlauben dabei, Verunreinigungen geringster Konzentration in Gasen, Chemikalien und auf Siliciumscheiben sowie ihre Wirkung auf die elektrischen Eigenschaften von Bauelementen zu erfassen.

Im Arbeitsgebiet Leistungselektronische Systeme werden in enger Zusammenarbeit mit industriellen Auftraggebern Prototypen und Demonstratoren für leistungselektronische Systeme entwickelt.

Im Arbeitsgebiet Kristallzüchtung werden Firmen bei der Entwicklung und Optimierung von Anlagen und Prozessen zur Herstellung von Kristallen für die Mikroelektronik und Mikrolithographie unterstützt. Weitere Schwerpunkte sind die Entwicklung, Anwendung und Lizenzvergabe von Simulationsprogrammen zur Berechnung von Hochtemperaturanlagen und -prozessen sowie die Entwicklung und Anwendung von Meßtechniken zur Bestimmung des Stoff- und Wärmetransportes bei Kristallzüchtungsprozessen.

 

Produkte / Dienstleistungen

Geräteausstattung
  • Industrie-kompatible Halbleiterlabors mit 1 300 m² Reinraum
  • Reinraumlabors für Geräte-Entwicklung und
    -Vorqualifizierung bei Substratgrößen von 150 mm bis 300 mm
  • Implantationslabor mit 5 Ionenbeschleunigern von 5 keV bis 6 MeV
  • Umfangreiche instrumentelle Analytik für Gase, Haltbleiter-Scheiben und Flüssigmedien
  • Umfangreiche Messtechnik für die Leistungselektronik
  • Leistungsfähige Rechnerumgebung für Simulationen
  • CAD für Teststrukturentwicklung
  • ...

 

Kontakt

Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB
Schottkystraße 10
91058 Erlangen
 
Sekretariat
Tel.: +49 9131-761-0
Fax: +49 9131-761-390
 
Homepage:
http://www.iisb.fraunhofer.de