Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg; Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente

Technische Fakultät, Institut für Elektrotechnik, Elektronik und Informationstechnik

Profil

Praxisrelevante aktuelle Projekte:

  • Untersuchung des Aktivierungs- und Diffusionsverhaltens von Bor in polykristallinen SiGe-Gateelektroden für MOS-Transistoren
  • Chemische Dampfphasenabscheidung von Schichten hoher Dielektrizitätskonstanten am Beispiel Barium-Strontium-Titanat
  • Modellierung und Simulation der Diffusion von Aluminium in Silicium
  • CVD-Prozesse mit neuartigen metallorganischen Precursoren zur Herstellung von hochepsilon Gatedielektrika und metallischen Gateelektroden zukünftiger CMOS Generationen
  • Entwicklung von Leistungshalbleiterbauelementen zur Integration in eine Hochvolt IC Technologie / Experimentelle Verifizierung eines neuartigen Konzeptes für hochsperrende bipolare Leistungshalbleiterbauelemente
     

Praxisrelevante Ausstattung/Messmethoden:

  • Halbleiterprozesstechnik (1000qm Klasse 100 Reinraum, 150mm Siliciumtechnologie, 0.8µm CMOS-Prozess, Sonderprozesse bis Scheibengrösse 300mm verfügbar, Labor für Ionenimplantation)
  • Elektrische Messtechnik (u.a. Bauelementecharakterisierung mit manuellen und automatischen Waferprobern, Lebensdauermesstechnik, Oxidcharakterisierung, Elektronenstrahltester)
  • Physikalische und chemische Analytik (FIB, REM, TEM, AFM, SIMS/SNMS, XPS, RBS, div. massenspektrometrische Verfahren, TXRF(TRFA), optische Partikel-/Defektkontrolle)
  • Parallelrechner, Workstations für Simulation und Design, Entwicklungswerkzeuge für Anlagen- und Messplatzsteuerungen (SieFuzzy, SieMatic, µC Entwicklungsumgebung, LabView)

Technologien / Forschung

Praxisrelevante Forschungsgebiete:

  • Halbleitertechnologie (Prozesstechnik, physikalische Analytik, Ionenimplantation, Bauelemente)
  • Simulation von Halbleiterbauelementen und -fertigungsprozessen (Bauelemente, Diffusion, Topographie)
  • Halbleiterfertigungsgeräte und Materialien (Fertigungstechnik, Automatisierung, chemische Analytik)
  • Leistungselektronische Bauelemente und Systeme (HV-Bauelemente auf Si- oder SiC-Basis, Smart Power Technologien, Mechatronik, Leistungselektronik)
  • Kristallzüchtung (Herstellung, Modellierung von Züchtungsprozessen)
     

Kooperationsmöglichkeiten

Bevorzugte Form der Kooperation  

  • Beratung
  • Gutachten
  • Messung
  • FuE
  • Diplomarbeit
  • Doktorarbeit
  • Aus- und Weiterbildung
     

Angebote zur Zusammenarbeit:

  • Forschung, Entwicklung und Dienstleistung auf dem Gebiet der Halbleiterprozesstechnik - Entwicklung von Verfahren, Prozessen und Bauelementen, Durchführung von Einzelprozessen (Ionenimplantation, Schichtabscheidung - z.B Metalle oder Isolatoren, Strukturierung von Oberflächen), Entwicklung von Teststrukturen und (Leistungs-)Bauelementen, Herstellung von Bauelementen/Schaltungen für Ausbildung, Praktika, etc.
  • Halbleiter- und Bauelementemesstechnik - Charakterisierung von Bauelementen und Schaltungen (auf Siliciumscheiben/Wafer Level bzw. vereinzelt), Zuverlässigkeitsanalysen, Fehler- oder Ausfallanalyse, Reparatur von Prototypen oder Kleinserien mittels FIB
  • Physikalische und chemische Analytik - Profilmesstechnik, Kontaminationsanalysen an Siliciumscheiben und Prozessmedien, Eichstandards, Lebensdauermesstechnik
  • Entwicklung von Halbleiterfertigungsgeräten vom Labormaßstab zur Fertigungsreife - Anlagenkonzepte, Automatisierung, Standardisierung von mechanischen und informationstechnischen Schnittstellen, Integration von inline/in situ-Messtechnik
  • Entwicklung von elektronischen Schaltungen und Systemen mit Schwerpunkt auf der Leistungselektronik

 

Kontakt

Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg; Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente
Cauerstr. 6
91058 Erlangen
 
Prof. Dr.-Ing. Heiner Ryssel
Tel.: +49 9131-8528-634
Fax: +49 9131-8528-698
 
Homepage:
www.leb.e-technik.uni-erlangen.de